第九十四章 光刻機比想像的容易（1/2）

光刻機很難。

真的非常非常難。

難度係數是氫彈的十倍。

哪怕傾舉國之力也不可能在短期內拿得下。

以上這些，是經常充斥在衛明耳邊的話，聽得他幾乎耳朵長繭。

真的有那麼難麼？

這些天，親自進入研發工廠，了解透了光刻機的工作原理，在「老闆工作間」內，利用體內的小黑，輕鬆打磨出幾十個合格的高精密零件，以及20塊的「鍋蓋」鏡片——每塊「鍋蓋」鏡片，由四十層玻璃疊加而成，表面凸起都不得超過1納米。

「很簡單嘛，好像沒什麼難的。」

看著面前成批成批的精度完全合格的零件，衛明撇了撇嘴說道。

「到底難在了什麼地方？」

「光源發生器非常難。」

蒲偉才說道：「要製造出波長13.5納米的極紫外光，必須要用193納米波長的深紫外光，擊打自由落體的金屬錫滴，並且要在極短的時間內，連續擊中錫滴兩次，每秒重複5萬次，才能產生足夠強度的極紫外光。」

要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。

自由落體過程中，不僅要被雷射擊中，由水滴狀攤平成圓餅狀，再進行第二次擊打，才能擊發出最強烈的極紫外光……整個過程，完全是動態中發生的，如同用繡花針擊中蒼蠅，而且要連續擊中兩次。

並在一秒內，重複五萬次這套操作。

「你不是說已經解決光源問題了麼？而且能源利用率達到了5%？」衛明不解的道。

「光源是解決了，是因為我們用的擊打光源，是特殊晶體擊發出的132納米光，能量利用率肯定比193納米光高的多，但要想製造強度足夠的13.5納米波長的極紫外光，還是得通過擊打錫滴的方式達到，這是唯一可行的路徑。」

「也就是說，你們只搞定了擊打光源，然後就說搞定了光源……這兩個不是一碼事吧？」

衛明眉頭皺了起來。

「衛總，不是我們愛搞虛假宣傳，可是長期的科學研究，如果沒有點成果的話，誰會關注我們，上面怎麼給我們撥款？所以哪怕只是部分突破，也得重點宣傳一番。」

一旁的向廣林解釋說道。

「我們正在攻克的最後一項技術難題，就是錫滴的擊打頻率問題。」

蒲偉才也道：「我們已經解決了連續擊打問題，但每秒最多重複5000次，不過我們的能量利用率更高，只需做到每秒重複2萬次，就有足夠使用的光照強度了。」

「所以我們的能量利用率不是沒有意義，每秒2萬次比每秒5萬次，明顯容易實現多了。」

「每秒2萬次……」

衛明沉吟了一下，道：「還缺什麼條件，阻止你們達到這個頻率？」

「精度，控制系統的精度。」

蒲偉才說道：「如同一個時鐘，同時精確掌控2萬滴錫滴的自由下落，以及4萬次的擊打，時間上，每秒內的誤差，不得超過十億分之一秒；距離上，每秒不能超過1納米，並且還要設計一套『偏差糾正』系統，只要誤差累積過大，就會自動糾正，讓系統長期穩定的運轉下去。」

「目前我們正在全力攻克控制系統，糾偏系統稍稍靠後，但也安排了團隊進行攻關。」

「當然如果從島國進口的相關零件，很快能到我們手中，可能三個月內，我們就能實現擊打頻率突破2萬次。」

島國？

三個月？

衛明搖頭笑了笑，道：「缺什麼零件，就交給我吧，我給你們搗鼓出來。」

接著他連續搗鼓了三天時間。

雷射頻率控制器。

高靈敏距離感應器。

還有這個什麼器，那個什麼裝置，以及衛明叫不出專業名稱的東西。

三天內他一共搞了十幾個。

然後讓蒲偉才他們，把這些裝置，塞入到控制系統中，以極高精度要求，組裝到了一起。

再開啟了試運行。

「釋放錫滴，初始頻率每秒1滴。」蒲偉才進行指揮說道。

「開始釋放。」

「兩次擊打成功，攤平形狀完美，激發效果完美！」

「增加釋放頻率。」

「每秒50次試驗成功。」

「每秒500次試驗成功！」

「每秒5150次試驗成功！追平最高紀錄。」操作員聲音微顫的道。

「繼續增加！往上加高一點！」

蒲偉才也開始激動了，這才第一次進行調試而已，居然就追平了上一套零件不斷調試數百次創造的最高紀錄？

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