第九十四章 光刻機比想像的容易(2/2)
蒲偉才也開始激動了,這才第一次進行調試而已,居然就追平了上一套零件不斷調試數百次創造的最高紀錄?
「每秒5500次試驗成功,創造新的紀錄!」
「再加!」
每秒7000
每秒9000
每秒1萬
……
一直加到每秒2萬,滿足使用頻率要求。
所有人都被震驚到麻木,依然是取得成功!
「再加,再往上加!」
每秒3萬
每秒4萬
每秒4萬5
每秒5萬!
「錫滴釋放頻率達到上限,特麼還是取得成功!」操作員毫無形象的狂喊。
「轉化光強是額定光強的2.5倍!」
向廣林眼睛通紅的大吼:「這意味著這台光刻機處理晶元的效率,至少艾思邁EUV的兩倍以上,我們一台,能頂他們兩台!」
「你們別叫!」
蒲偉才高高揮起了手,目光盯著持續時間後的數據,極力壓制情緒的說道:「看看每秒5萬滴錫滴,每秒10萬次擊打的情況下,這個系統能穩定工作多長時間?你們別吵,你們的噪音,可能影響到它的發揮。」
所有人都安靜了下來。
屏住了呼吸。
目光都死死盯上了持續時間。
5分鐘
15分鐘
第29分38秒
由於累積誤差越來越大,沒有糾偏系統進行糾正,整個系統終於自動停止了運行。
啪!
蒲偉才右拳用力轟擊自己左掌,滿臉漲紅的說道:「3分鐘就足夠了,只要3分鐘,就不用配套設計非常複雜的糾偏系統了,沒想到它堅持了足足半個小時!我們只需設計一套非常簡單的糾偏系統,就能讓它長期穩定的工作了,整個系統的複雜度至少降低10%,為我們省下大量的時間!」
「太厲害了,太神奇了!」
作為項目負責人,他自己也大呼小叫:「光源問題徹底解決了,雙工台現成就有,鏡頭完全能用,我們的EUV光刻機,完成度至少超過90%!」
「我們完全看到勝利的希望了!」
說著,他淚如壩崩,幾欲捧面大哭一場。
堅持十幾年了!這一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然觸手可及。
見他如此,跟他一個團隊的其他成員,也都擦著眼角,發出嗚嗚的聲音。
「還沒真成功呢,眼淚不如留到慶功宴。」
一個略有些掃興的聲音傳來。
卻聽衛明說道:「蒲博士,剛才你還一臉抗拒的樣子,懷疑我打磨過的東西不能用,現在呢?信我說的話了吧,零件問題,對我公司不是個問題,你說的技術難點,感覺也不怎麼難。」
「沒錯沒錯。」
蒲偉才連忙擦淚,露出一張童真笑臉:「衛總你說的沒錯,只要衛總出馬,光刻機,沒有任何什麼難點,我相信在衛總的帶領下,我們能解決一切技術問題!」
他這次是真心服了,眼裡只有崇拜。
「沒錯,完全多虧了衛總。」
「衛總辛苦了,給衛總捶捶肩。」
「衛總的神級打磨,能創造工業上的奇蹟!」
「衛總才是最大的功臣,感謝衛總。」
又一波馬屁聲覆蓋而來。
這一次,蒲偉才不僅沒有咳嗽制止,反而是裡面拍的最厲害的那個。
當然,馬屁聽一小會就夠,衛明讓他們馬上投入到工作中,繼續尋找問題,解決問題,直到沒有任何問題為止。