第478章 真假1微米(1)(2/2)
「你們說的都對,又都不對。」
「怎麼講?」
「晶圓廠要上,但也要考慮現實情況,空喊口號是沒有用的。我們畢竟沒有積累。
但同時,我們的目標也要實現,錢不能白花!如果只是上2微米的晶圓廠,根本沒有意義。」
「咦?你這是啥意思?兩面的話都讓你說全了!」
兩位老鄉同學,都覺得自己的耳朵出了問題。
「這次我準備,用2微米的半導體設備及工藝,來生產1微米的晶片!」
...
「這怎麼可能?」
「我就知道你腦袋裡肯定有東西。」
兩個不同性格的人,在沉思片刻後,發出了完全不同的感嘆。
「你不是在開玩笑吧。如果真有這種技術,為什麼全球這麼多企業每年投入這麼金錢,去改進他們的工藝流程,提高生產設備的精度?908工程是在幹什麼?」
葉靜生性比較保守,看事情更多的是看風險。
「這個技術是有的。這也是為什麼這個工程被叫做一號工程的緣故。它的保密級別甚至高於液晶的ODF工藝。」
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「好吧,你說吧。我們準備好了。」
這已經不是第一次了,成永興召集兩人商量一些高度機密性的科技信息。
經過MEMS,LED,以及LCD的不斷洗禮,兩個人對晶圓工藝已經不陌生了。
在後世,人們一提起半導體設備,被津津樂道的,就是光刻機。大家普遍認為,光刻機是中國在半導體工藝上落後的唯一瓶頸。
這句話對,也不對。
對,是因為,中國在半導體工藝領域,被甩得最遠的代表設備就是光刻機。
其他設備,例如蝕刻設備等,它們與國際先進水平,即使有些差距,差距也沒有這麼大,甚至某些設備,國產設備已經開始反攻國際市場。
光刻機決定半導體製程的情況,僅僅是出現在2005年之後。這就是地球人都知道的,ASML的天王山之戰。
ASML在浸入式光刻機上,打了場翻身仗,一舉把日本的幾家競爭對手掀翻在地,從而奠定了在光刻機市場的壟斷地位。
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但實際上,在2005年的前後,決定半導體晶片製程的幾個核心技術,都不是光刻機。因為此時,光波的波長,還沒有撞到極限(193 nm).
中國已經有了1.5微米的光刻機,但是其他輔助工藝,達不到這麼高的精度。
幾十年來,對光刻設備的要求主要基於摩爾定律,通過減小波長和增大數值孔徑(NA)來獲得更高解析度。
但是雷射的可用波長就那麼幾個,雷射波長減少幾次,就無以為繼了。
2004年開始,光刻機就開始使用193nm波長的DUV雷射,誰也沒想到,光刻光源被卡在193nm無法進步長達十幾年。
哪怕採用了沉浸式光刻機,也僅僅是使晶圓工藝成功突破了幾個節點。
過了一段時間,半導體工藝的工藝演進路線,再次遇到了類似的問題。後世的14nm,10nm,7nm的技術突破。都不是通過升級光刻機來實現的。
在光刻機無法升級的情況下,為了突破這個障礙,人們開始尋找別的突圍方向。
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隨著科學家們的腦洞大開,一個行之有效的方法,真的被找到了!
更為可喜的是,這個方法思路非常簡單,而且特別適合這個時代。
在完全在不改變設備技術水平的情況下,可以提高晶圓的製程!
之所以這個方法沒有被廣泛宣傳,是因為所有的晶圓廠都在使用。大家都在用的技術,自然就失去了神秘性和趣味性。
燈下黑,指的就是這種情況。